内容摘要：多年来，昆明团队取得了大口径反射镜自动支撑技能、昆明大规划自适应光学技能、高精度稳像技能、先进图画恢复技能等一系列国内抢先、世界先进效果，添补多项国内空白。

多年来，昆明团队取得了大口径反射镜自动支撑技能、昆明大规划自适应光学技能、高精度稳像技能、先进图画恢复技能等一系列国内抢先、世界先进效果，添补多项国内空白。

CMP工艺首要以较高速率去除晶圆外表阻挠层以上的大部分铜，理工然后以较低速率去除剩余铜和阻挠层，终究完结外表平坦化。相较于其他金属阳极（如Ti、大学得打Ta），铜更易于离化，自离化的等离子体状况最为安稳，且离化率最高。

电镀铜经过自退火效应构成较大的铜晶粒，参加池研但一般还需额定退火处理以进一步增大晶粒尺度。并且因为low-k资料的机械强度较低，锂金阻挠层研磨时需选用更小的应力，锂金以避免low-k介质层变形或脱落，并尽量削减对介质层结构和性质的损坏，避免影响其k值。相较于小晶粒，属电大晶粒不只进步了研磨速率20%以上，还削减了薄膜中的晶界数量，明显增强了铜线的电搬迁可靠性。

图11：讨项沟槽刻蚀(7)终究进行阻挠层与铜的堆积，并施行铜的化学机械抛光（CMP）处理，如图12和图13所示。整个M1工艺流程可具体划分为薄膜堆积、目获图画曝光与显影、介质层蚀刻、阻挠层构建、种子层堆积、铜电镀以及化学机械抛光等多个要害环节。

这些合金薄膜可以一起满意黏赞同阻挠的两层需求，昆明为铜的直接电镀供给了新的或许。

TaN薄膜，理工特别对错晶态，展现出杰出的防铜分散才能，而添加TaN在金属互连层中的份额可进一步进步可靠性。文章来历：大学得打晶格半导体原文作者：大学得打晶格半导体本文首要介绍晶圆的划片工艺流程在半导体制作的杂乱流程中，晶圆历经前道工序完结芯片制备后，划片工艺成为将芯片从晶圆上别离的要害环节，为后续封装奠定根底。

需求运用具有高分度轴精度、参加池研高光学放大和先进对准运算的设备，以确保每次切开都能准确落在迹道中心几微米范围内。反面碎片(BSC,back-sidechipping)：锂金反面碎片呈现在晶圆的底面，当大的、不规则细小裂纹从切开的底面分散并汇合时，就或许引发这一问题。

但是，属电激光切开在处理100um以上厚度的晶圆时，出产功率会大大下降，这约束了其在厚晶圆切开中的运用。经过监测切削质量与刀片基板彼此效果力的联系，讨项并丈量相关变量，能够及时发现工艺误差和损害的构成。